Disputas: Frode Tyholdt

Prøveforelesning

Bedømmelseskomité

Professor Gunnar Westlin, Department of Materials Chemistry, Uppsala University, Uppsala, Sweden
Dr. Theodor Schneller, RWTH Aachen, Aachen, Germany
Professor Poul Norby, Kjemisk institutt, Universitetet i Oslo

Leder av disputas:  Professor Svein Stølen

Veileder:  Professor Helmer Fjellvåg

Sammendrag

Chemical solution deposition of piezoelectric Pb(Zr,Ti)O₃ and multiferroic BiFeO₃ thin films

I et mikroelektromekanisk system (MEMS) blir silisium brukt som utgangsmateriale for å lage små mekaniske strukturer. Man kan i tillegg innpasse andre funksjonelle materialer som detekterer eller reagerer på ytre stimuli. En analogi er at man på denne måten kan utstyre en silisiumkrets (hjernen) med sanser tilsvarende menneskets, som for eksempel syn, hørsel, lukt, følelse i tillegg til bevegelse. Det funksjonelle materialet må integreres inn i et MEMS som en tynn film med tykkelse på 0,1 til 10 mikrometer.

Tyholdt har utviklet metodikk og utstyr for deponering og karakterisering av tynne filmer av to metalloksider. Han har lagt en metall-organisk løsning på en silisiumoverflate. Etter tørking og avbrenning blir det dannet et tynt oksidlag. Metoden egner seg godt til deponering av oksider av flere grunnstoffer. Han har utviklet en ny metode basert på metall-alkoksider for deponering av BiFeO3. Tyholdt beskriver også hvordan selve fremstillingen styrer kvaliteten til tynnfilmene. Høy kvalitet er viktig for praktisk bruk.

Arbeidet et utført ved Kjemisk institutt ved Universitetet i Oslo under prosjektet FIN (Films, Interfaces and Nanomaterials). Arbeidet har hatt stor betydning for utviklingen av aktiviteten på MEMS med piezoelektriske aktive elementer i Norge. En aktivitet som nå er internasjonalt anerkjent.

Kontaktperson

For mer informasjon, kontakt Raul Boris Briceno.