Beskrivelse
MEMS-teknologien gir muligheter til å lage mikromekaniske resonatorer og filtre med fremragende egenskaper, bl.a. når det gjelder selektivitet og Q-faktor. De mekaniske strukturene kan kombineres med mikroelektronikk og utgjøre sentrale deler i trådløse systemer, RF systemer (Radio Frequency systems). Eksempler kan være ulike typer oscillatorer, VCOs (Voltage Controlled Oscillators), miksere og filtre. MEMS strukturene kan derved typisk erstatte tradisjonelle kostbare, diskrete komponenter ved at de muliggjør integrerte løsninger og lar seg batch-prosessere. MEMS resonatorer og filtre som hittil har vrt utviklet, baserer seg p mekaniske svingninger i horisontal eller vertikal retning p en Si-skive. Ulike typer bjelker, kammer eller disker benyttes.
Arbeid som er i gang studerer de mekaniske filteregenskapene til en sammenkobling av dobbeltinnspente bjelker, - en H-struktur. I Masteroppgaven skal en bygge videre p dette, men konstruere et komplett elektrisk bndpassfilter med inngangs- og utgangs-elektronikk i CMOS i tillegg til den mekaniske strukturen. En viktig del av oppgaven vil derfor best i skaffe seg en oversikt over mulige metoder for realisere integrerte lsninger bestende av bde kretser i CMOS og MEMS-moduler. Det skal lages en konkret konstruksjon av filteret med basis i en aktuell mulighet for implementasjon. Simuleringer ved CoventorWare og Cadence vil inng, foruten konkret utlegg (layout). Filterkarakteristikker og Q-verdi underskes for valgte parametre. Mulighet for prosessering vil vurderes.
Oppgaven innledes ved studere noen utvalgte artikler og lage en oversikt over problemer og muligheter ved integrasjon av CMOS og MEMS (essay).
Verkty
CoventorWare, evnt. MatLab, Cadence
Anbefalt faglig bakgrunn
INF5490 RF MEMS (evnt. ogs FYS4230 Mikro- og nanosystem modellering og design og INF5480 RF kretser, teori og design)
Konstruksjon av analog CMOS
Studieprogram
Informatikk